Yn ôl dull cyflenwi'r cyfrwng, rhennir cryopumps i'r mathau canlynol:
Pwmp cryogenig tanc storio: mae cyfrwng tymheredd isel (heliwm hylif) yn cael ei chwistrellu'n uniongyrchol i'r tanc storio yn y pwmp i gyddwyso'r nwy i gyflawni pwrpas pwmpio.
Manteision cryopump y tanc storio yw bod y pwmp yn fach o ran maint, dim dirgryniad, dim sŵn, ac yn hawdd i'w weithredu.
Anfantais pwmp cryogenig y tanc storio yw bod y gost gweithredu yn uchel, mae amser defnyddio pob llenwad o'r cyfrwng tymheredd isel yn fyr, ac mae angen i'r system gwactod y mae angen iddo weithredu'n barhaus am amser hir ailgyflenwi'r gwaith gweithio o bryd i'w gilydd. canolig, ac mae wedi'i gyfyngu gan amodau cyflenwi'r cyfrwng tymheredd isel.
Proses cryopump: Mae'r bibell oeri cryopanel yn y pwmp wedi'i gysylltu â'r ehangwr rheweiddio, ac mae'r cyfrwng cryogenig (nwy heliwm) yn cael ei gyflenwi i'r cryopump trwy'r biblinell allanol, yn amsugno gwres y cryopanel, ac yna'n dychwelyd i'r cywasgydd rheweiddio i ffurfio cylch caeedig. Mae cyfaint y pwmp yn enfawr, mae'r biblinell yn gymhleth, ac mae colled oeri y biblinell yn fawr.
Mantais y broses cryopump yw bod ganddo bŵer oeri mawr ac mae'n fwyaf addas ar gyfer cael gwared ar gyfaint atmosfferig neu siambr gwactod mawr.
Cryopump oergell fach: Mae'r cryopump oergell bach cylch caeedig yn cynnwys corff pwmp tymheredd isel, cryopanel echdynnu aer, plât cysgodi ymbelydredd, oergell a chywasgydd.
Y gwahaniaeth mwyaf rhwng pwmp cryogenig yr oergell fach a phwmp cryogenig y broses yw bod pennau oer cyntaf ac ail yr oergell wedi'u cysylltu'n uniongyrchol â'r sgrin ymbelydredd a'r plât oer, a'r llif yn y biblinell gysylltu rhwng y oergell a'r cywasgydd yw tymheredd arferol, tymheredd uchel (neu isel). ) cyfrwng nwy dan bwysau, nid oes problem cludo o gyfrwng tymheredd isel, ac mae ganddo fanteision cryopump proses a chryopump tanc storio. Mae'n bwmp gwactod ultra-uchel glân delfrydol ar hyn o bryd.
Defnyddir cryopumps oergell bach yn eang mewn paratoi ffilmiau tenau, technoleg microelectroneg, ffiseg ynni uchel, offer marw cylch bach a meysydd diwydiannol eraill.