Gwneir cryopumps yn ôl yr egwyddor o anwedd nwy, arsugniad cryogenig, trapio cryogenig neu sugno i gael gwactod.
1. Yn ôl pwysau gweithio'r pwmp, gellir ei rannu'n cryopump ar gyfer ystod llif parhaus, cryopump ar gyfer ystod llif moleciwlaidd, pwmp cyddwyso fel arfer ynghyd â cham arsugniad neu gam dal cryogenig.
2. Yn ôl y dull oeri, gellir ei rannu'n cryopump tanc storio, cryopump anweddol a cryopump rheweiddio. Yn eu plith, mae'r cryopump tanc storio a'r cryopump anweddol ill dau yn defnyddio oergell hylif ar gyfer rheweiddio, mae wyneb y darian oeri yn nitrogen hylifol a ddefnyddir yn gyffredin, ac mae'r wyneb cryogenig yn heliwm hylif neu heliwm nwy a ddefnyddir yn gyffredin ar gyfer rheweiddio. Oherwydd fflamadwyedd, ffrwydrol a phris uchel hydrogen hylif, anaml y caiff ei ddefnyddio o hyd er gwaethaf ei enthalpi anweddiad uwch na heliwm hylif.
Defnyddir oergelloedd cryopump rheweiddio yn gyffredin gan Gifford. Math McMahon (cyfeirir ato fel oergell GM) a math Stirling (cyfeirir ato fel oergell St). Ar gyfer cryopumps rheweiddio â chyflymder pwmpio mawr, gellir defnyddio oergell gradd tymheredd hylif heliwm, a gellir gosod falf JT i ffurfio dyfais rheweiddio cylchrediad hylif, ac weithiau defnyddir nitrogen hylifol mewn tanc storio hylif neu beiriant hylifedd nitrogen i oeri'r baffl a'r wyneb darian.
Prif berfformiad cryopump
① Yn uwch na'r cyflymder pwmpio, yn well na phob math arall o bympiau.
② Nid oes unrhyw gyfyngiadau ar y siâp, gellir ei drochi yn y siambr gwactod neu ei osod ar wal y siambr gwactod gyda fflans.
③ Gall ddarparu gwactod hollol lân heb lygredd i'r system gwactod.
④ Gellir cael gradd gwactod o bwysedd isel iawn, megis o dan 10-12Pa. Ar ben hynny, mae gweithrediad y cryopump yn ddibynadwy, a phan fo'r cyflymder pwmpio yn gymharol fawr, mae cost gweithredu ei fuddsoddiad yn is na chost y pwmp gwactod traddodiadol, ac mae'n hawdd gwireddu awtomeiddio.